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接上篇繼續(xù)介紹，半導(dǎo)體制程廠區(qū)與設(shè)備環(huán)境 AMC 監(jiān)測(cè)解決方案，三種模式方案介紹。

1、制程點(diǎn) - 在線自動(dòng)化 AMC（VOCs）精準(zhǔn)分析系統(tǒng)

生產(chǎn)監(jiān)測(cè)點(diǎn)布點(diǎn)在線監(jiān)測(cè)： 

• 使用超凈 PFA 采樣管進(jìn)行廠區(qū)布點(diǎn)，監(jiān)測(cè)范圍可達(dá) 35000m2~75000m2

• 自動(dòng)采樣、濃縮、GC-MS 分析、云端存儲(chǔ)、AI 自動(dòng)生成檢測(cè)報(bào)告，并帶有超閾報(bào)警功能

• 7×24 小時(shí)排程自動(dòng)化監(jiān)測(cè)

• 全流程全部件惰性化涂覆，避免殘留與吸附

• 專(zhuān)利設(shè)計(jì)的捕集系統(tǒng)與聚焦系統(tǒng)，大幅提升檢出線，峰形更銳利

2、疑似點(diǎn) - 實(shí)驗(yàn)室 AMC（VOCs）精準(zhǔn)分析系統(tǒng)

疑似點(diǎn)手工采樣實(shí)驗(yàn)室分析：

• 系統(tǒng)用于實(shí)驗(yàn)室中，基于捕集能力強(qiáng)、去除雜質(zhì)能力強(qiáng)、抗吸附能力強(qiáng)、進(jìn)樣精確度高、各氣路專(zhuān)用、全流程無(wú)冷點(diǎn)、清洗徹底等特點(diǎn)，共同作用，得到更低的檢出限

• 未知成分分析定量：系統(tǒng)可對(duì)樣本進(jìn)行物質(zhì)全分析

• 專(zhuān)為半導(dǎo)體企業(yè)開(kāi)發(fā)的 AMC（VOCs）物質(zhì)檢測(cè)方法包

• 檢測(cè)時(shí)效性強(qiáng)：快速定性定量污染物質(zhì)，及時(shí)發(fā)掘 AMC（VOCs）污染源頭

晶圓石英加熱爐，加熱揮發(fā)進(jìn)樣：

• 專(zhuān)為半導(dǎo)體企業(yè)開(kāi)發(fā)的 AMC（VOCs）物質(zhì)檢測(cè)方法包

• 檢測(cè)時(shí)效性強(qiáng)：快速定性定量污染物質(zhì)，及時(shí)發(fā)掘 AMC（VOCs）污染源頭

3、工作臺(tái) - 便攜式 AMC（VOCs）精準(zhǔn)分析系統(tǒng)

工作臺(tái) - 污染溯源分析：

• 分析快速

      單質(zhì)譜走航模式，儀器不經(jīng)過(guò)色譜柱直接進(jìn)入質(zhì)譜，秒級(jí)分析，實(shí)時(shí)出具數(shù)據(jù)。

• 靈敏度高

      針對(duì)性溯源，靈敏度更高：?jiǎn)钨|(zhì)譜模式，秒級(jí)響應(yīng)，實(shí)時(shí)動(dòng)態(tài)顯示污染情況， 必要時(shí)可篩選離子使用 SIM 模式開(kāi)展針對(duì)性走航。

      膜進(jìn)樣技術(shù)使得樣品進(jìn)入質(zhì)譜前可以進(jìn)行二次富集，提高靈敏度

• 溯源精準(zhǔn)

      全新走航模式，深入車(chē)間，直指源頭

       相對(duì)傳統(tǒng)走航設(shè)備質(zhì)量更輕、抗震性更強(qiáng)，在傳統(tǒng)走航的基礎(chǔ)上可進(jìn)一步進(jìn)入車(chē)間，精準(zhǔn)溯源至污染產(chǎn)生工藝點(diǎn)位，幫助企業(yè)實(shí)現(xiàn)污染點(diǎn)的治理。

• 結(jié)果準(zhǔn)確

        雙重工作模式：走航模式 +GC-MS 定點(diǎn)分析模式

        使用 70eV EI 源 + 四級(jí)桿質(zhì)譜定性定量，充分電離空氣中的 VOCs，依托標(biāo)準(zhǔn) NIST 譜庫(kù)，準(zhǔn)確定性；國(guó)標(biāo)加持，結(jié)果與實(shí)驗(yàn)室可比。

• 環(huán)境適用性強(qiáng)

     非機(jī)械泵真空系統(tǒng)，環(huán)境適用性更強(qiáng)

     摒棄高速旋轉(zhuǎn)組件，采用非機(jī)械真空泵，解決多維大幅振動(dòng)中無(wú)法運(yùn)行檢測(cè)等問(wèn)題。

未完待續(xù)，詳見(jiàn) 下一篇 半導(dǎo)體制程廠區(qū)與設(shè)備環(huán)境 AMC 監(jiān)測(cè)解決方案（三） 服務(wù)優(yōu)勢(shì)介紹。