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方案概述

在人工智能和高效能運算需求的推動下，在第四代半導體材料與芯粒技術的發展下，芯片線寬已由 70nm 迅速進入 7nm 以下時代。30nm 以下的生產過程中，痕量氣態分子污染物（AMC）檢測的重要性，已上升到前所未有的高度。

AMC 監測的痕量精準化、監測全面化、大數據自動分析化，AI 智能管控化理念的引入，對降低 AMC 造成的良率沖擊，起到至關重要的作用。

北京博賽德科技有限公司自主研發生產的 BCT-AMC系列，半導體制程環境監測系統，涵蓋在線監測、實驗室分析、機臺現場溯源分析等多個場景的，更多有機物物種的精確全定量分析，分析過程高度自動化與集成化，配合專用的 AMC 污染數據庫與處置方案庫， 在 AI 技術的加持下，真正解決品管部與微污染控制部的切實問題。

典型場景

未完待續，詳見 下一篇 半導體制程廠區與設備環境 AMC 監測解決方案（二）三種模式方案介紹。